分类方法
应用实例
应用领域
半导体膜、介质膜、显示膜、光学膜、装饰膜
材质
金属靶材(A1、Sn、Zn、Ti、Ni Cr、Zr、Ir、Ag、Au、Pt、Hf、Nb、Cu、W、Mo、To等)
合金靶材(金钢、不锈钢、铜锡、镍铬、钛铝、钛错、钛金、金银、金镍、金、钨钼等)
磁性靶材(纯铁、坡莫合金等)
氧化物靶材(氧化钢锡陶瓷等)
靶材形状
板状、管状、线状、棒状
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