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蒸发源及其设计与使用中应考虑的问题

文章作者:欧洲杯买球官方官网
阅读:1116
发布时间:2024-02-28
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    在2024欧洲杯买球网蒸发镶与2024欧洲杯买球网离子镇的过程中,将膜材登于 1000°C~2000°C 高温下,使其燕发汽化的装置,称为蒸发源。蒸发源种类较多,蒜发源汽化膜材的原理也各不相同。但是,就其应用特点而言,在设计或应用时,主要应考虑如下几方面问题:

    ①蒸发源应满足膜材蒸发时具有较大的蒸发速率,并且能存储足够数量的膜材;

    ②蒸发源应具有较好和较长的使用寿命;

    ③蒸发源的使用范围应当广泛,既可蒸发金属或合金(如 Al、Ti、Fe. Co. Cr)也可蒸发化合物(如 SiO、SiO2、Zns 等);

    ④蒸发源在结构上应力求简单、易手制作、使用维护方便、运转费用低廉。


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——本文由蒸发镀膜设备厂家欧洲杯买球官方官网发布

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